基于金属钯纳米薄膜的光学氢气检测技术

本项目开发了基于金属钯超薄纳米薄膜的光学氢气传感器。课题组采用独特的薄膜材料与沉积技术制备出具有氢气刺激响应特性的卷曲组装触发器阵列芯片。该芯片对氢气的吸附与脱附能实现可见光透过率50%的变化。

此外，课题组还将钯超薄纳米薄膜与柔性单晶硅纳米薄膜光电晶体管结合，利用钯超薄纳米薄膜透过率变化调控光电晶体管的沟道电流，从而实现了安全、高效、快速的氢气可视化检测。可视化形式包括材料颜色变化、报警发声、数据显示等。

目前，课题组还在探索高集成、高密度的三维多功能检测创新体系和装置。本项目相关技术已获授权中国发明专利（ZL202110214271.7、ZL201810641931.8、ZL201610128635.9等）。